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按传感器故障程度的大小可分为硬故障和软故障。
1、硬故障泛指结构损坏导致的故障,一般幅值较大,变化突然;软故障泛指特性的变异,幅值较小,变化缓慢。硬故障也称完全故障,完全故障时测量值不随实际变化而变化,始终保持某一读数。通常这一恒定值一般是零或者更大读数。故障测量值大致是一条水平直线。
2、软故障包括数据偏差、漂移、精度等级下降等。软故障相对较小,难于被发现,因此,从某种意义上来讲,软故障危害比硬故障危害更大,其危害逐渐引起了人们的重视。